晶圓溫循可靠性測試的種類和測試條件
2023-12-04 16:09:56

可靠性測試的種類 (Kinds of Reliability Test)

1.預(yù)處理測試Precon Test(Preconditioning Test)

預(yù)處理測試的目的:了解半導(dǎo)體器件焊接后的可制造性。

模擬從封裝廠到客戶處的運(yùn)輸及在線路板上的焊接。

預(yù)處理實(shí)驗(yàn)后的故障缺陷有:封裝面的開裂、分層、開路/短路。

2.可靠性測試Reliability Test

可靠性測試的目的:了解半導(dǎo)體器件貼裝后在實(shí)際情況下的可靠性,可由實(shí)際用戶進(jìn)行歸納。

可靠性試驗(yàn)流程:

1)溫度循環(huán)測試 T/C Test(Temperature Cycling Test)

目的:了解半導(dǎo)體封裝承受高、低溫?zé)崦浝淇s的耐久性。

測試條件:溫度: +150/-65℃;時間: 15分/區(qū)間;讀取點(diǎn): 1000次循環(huán);測量;開短路測試。

溫度循環(huán)測試后的失效故障:由于打線鍵合的剝離或鍵球頸表面被破壞導(dǎo)致開路,芯片開裂導(dǎo)致短路。

溫度循環(huán)測試后的開路失效故障:芯片頂部脫層和球頸斷裂。

2)熱沖擊測試(迅速冷熱交替)T/S Test(Thermal Shock Test)

測試條件:溫度:+150/-65℃;時間: 15分/區(qū)間;讀取點(diǎn):1000次循環(huán);測量;開短路測試。

3)高溫倉測試(可以置于空氣或者氮?dú)夤裰校〩TST(High Temperature Storage Test)

目的:了解半導(dǎo)體封裝長時間暴露在高溫下的耐久性。

測試條件:溫度:150℃;讀取點(diǎn):1000小時;測量;開短路測試。

4)T&H Test(Temperature & Humidity Test) 溫度及濕度測試(潮濕環(huán)境,腐蝕,電解質(zhì)置換Au. A.基板銅層可能開路short,焊盤pad Al腐蝕;b.第一bond鍵合點(diǎn)斷開)

目的:了解半導(dǎo)體封裝在高溫高濕環(huán)境下的耐久性。

測試條件:溫度:85℃; 濕度:85%;讀取點(diǎn):1000小時;測量;開短路測試。

5)PCT(Pressure Cooker Test) 高壓鍋測試(飽和蒸汽,100%RH,主要用于QFP產(chǎn)品)

目的:了解EMC和L/F之間存在的差距。

測試條件:溫度:121℃;濕度:100%;壓力:2ATM;讀取點(diǎn):168小時;測量;開短路測試。

6)高加速應(yīng)力測試(不飽和蒸汽,80%RH,主要用于BGA產(chǎn)品)HAST(Highly Accelerated Stress Test)

目的:了解EMC與基板之間間隙的存在關(guān)系。

測試條件:溫度:130℃;濕度:100 %;壓力:33.3Psi;讀取點(diǎn):96小時;測量;開短路測試。