分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來并實現(xiàn)批量自動化測試的專用設(shè)備。在設(shè)計驗證和成品測試環(huán)節(jié)，測試機需要和分選機配合使用；在晶圓檢測環(huán)節(jié)，測試機需要和探針臺配合使用。

       分選機的特點:

       1.由于集成電路的小型化和集成化特征，分選機對自動化高速重復定位控制能力和測壓精度要求較高，誤差精度普遍要求在0.01mm等級。

       2.分選機的批量自動化作業(yè)要求其具備較強的運行穩(wěn)定性，例如對UPH(每小時運送集成電路數(shù)量)和Jam Rate(故障停機比率)的要求很高。

       3.集成電路封裝形式的多樣性要求分選機具備對不同封裝形式集成電路進行測試時能夠快速切換的能力，從而形成較強的柔性化生產(chǎn)能力及適應(yīng)性。

       4.集成電路測試對外部測試環(huán)境有一定要求，例如部分集成電路測試要求在-55—150°C的多種溫度測試環(huán)境、無磁場干擾測試環(huán)境、多種外場疊加的測試環(huán)境中進行，如何給定相應(yīng)的測試環(huán)境是分選機技術(shù)難點。

       氣體制冷機是一種閉環(huán)制冷系統(tǒng)，設(shè)計用于將干燥氣體(如氮氣，氬氣或空氣)從環(huán)境溫度冷卻到低溫，而無需預冷，氣體是非循環(huán)的。氣體制冷機使用制冷級聯(lián)技術(shù)，以實現(xiàn)低溫和超低溫冷卻氣體冷卻工藝，無需使用液氮和干冰的消耗性冷卻劑，降低了成本、風險；是氣體制冷應(yīng)用非常具有成本效益的系統(tǒng)。廣泛的溫度范圍可為分選機提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，應(yīng)用于半導體加工部件冷卻、材料的低溫表征實驗等試驗。

       探針臺的特點:

       1.探針臺精度要求非常嚴苛，重復定位精度要求達到0.001mm(微米)等級。

       2.晶圓檢測對于設(shè)備穩(wěn)定性要求極高，各個執(zhí)行器件均需進行多余度的控制，晶圓損傷率要求控制在1ppm(百萬分之一)以內(nèi)。

       3.晶圓檢測需具備多套視覺精密測量及定位系統(tǒng)，并具備視覺相互標定、多個坐標系互相擬合的功能。

       4.探針臺對設(shè)備工作環(huán)境潔凈度要求極高，除需達到幾乎無人干預的全自動化作業(yè)，對傳動機構(gòu)低粉塵提出要求，還需具備氣流除塵等特殊功能。

       Chiller 液冷機是一臺對循環(huán)液進行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。具有廣泛的溫度范圍：-20℃至+90℃，能為探針臺在測試過程中提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業(yè)用途廣泛。