ZC80 溫控器
ZC80 溫控器 SEMI Chiller溫控器主要用于半導體（FAB）和FPD顯示制程中工藝設備的溫度精準控制，如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設備的控溫（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統(tǒng)組成的工藝過程中的溫控設備。

    產(chǎn)品詳情

    特點

    先進的控制技術，模糊控制，前饋控制，確保設備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性

    先進的節(jié)能技術，Hot-Gas，變頻技術等大幅降低了設備能耗

    先進的密封和檢漏技術，極大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況

    超低溫制冷技術，單/多級復疊技術，多層復合保溫技術

    支持用戶多通道/多類型定制需求

     

    技術規(guī)格

     

    ZC80S Chiller Specification
    Temperature range -20 to +90℃
    Temperature accuracy
    		 ±0.1℃（Constant state）
    Cooling capacity
    		 -10℃@8Kw
    Coolant Type Fluorinert/Galden/Dl-EG
    Heater capacity
    		 4Kw
    Flow 25LPM@0.5Mpa
    Cooling method Water cooled
    Coolant Port 3/4” Rc or LOK
    Facility water Port 1/2” Rc or LOK
    Power supply 3-phase 208V±10%

    如需詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們！