ZH80 溫控器
SEMI Chiller溫控器主要用于半導(dǎo)體（FAB）和FPD顯示制程中工藝設(shè)備的溫度精準(zhǔn)控制，如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設(shè)備的控溫（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲(chǔ)液罐、制冷壓縮機(jī)及控制系統(tǒng)組成的工藝過(guò)程中的溫控設(shè)備。

    產(chǎn)品詳情

    特點(diǎn)

    先進(jìn)的控制技術(shù)，模糊控制，前饋控制，確保設(shè)備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性

    先進(jìn)的節(jié)能技術(shù)，Hot-Gas，變頻技術(shù)等大幅降低了設(shè)備能耗

    先進(jìn)的密封和檢漏技術(shù)，極大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況

    超低溫制冷技術(shù)，單/多級(jí)復(fù)疊技術(shù)，多層復(fù)合保溫技術(shù)

    支持用戶多通道/多類型定制需求

     

    技術(shù)規(guī)格

     

    ZH80S Chiller Specification
    Temperature range +30 to +90℃
    Temperature accuracy
    		 ±0.1℃（Constant state）
    Cooling capacity
    		 PCW+10℃@8Kw
    Coolant Type Fluorinert/Galden/Dl
    Heater capacity
    		 6Kw
    Flow 30LPM@0.5Mpa
    Cooling method Water cooled
    Coolant Port 3/4” Rc or LOK
    Facility water Port 1/2” Rc or LOK
    Power supply 3-phase 208V±10%

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