在真空腔體內(nèi)，水汽分子是典型的環(huán)境污染氣體，占腔內(nèi)殘余氣體 65% 到 95% ，當(dāng)真空度達(dá)到 10E-2Pa時(shí)，水汽分子用平常真空泵難排出腔體，是典型的副作用的污染氣體，是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。為了快速的達(dá)到較高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔內(nèi)的水汽，輔助抽真空，在極短的時(shí)間達(dá)到需求的真空度。

COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理將一個(gè)冷阱盤管或擋板，放置在真空室內(nèi)的腔壁上或油擴(kuò)散泵的泵口，通過制冷盤管表面，實(shí)現(xiàn)低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集集真空泵統(tǒng)的水汽分子或其它殘余氣體分子，從而獲得潔凈的真空環(huán)境，提高產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量，改善鍍膜的品質(zhì)，提高薄膜的附著力和多層鍍膜能力。

COOL系列水汽深冷捕集泵有單級(jí)和雙級(jí)的配置，雙級(jí)制冷可單獨(dú)控制每一路的制冷，兩路冷阱盤管或擋板都能被快速除霜。

 

特點(diǎn)

水汽抽速366000L/s

快速捕集水汽、油蒸汽；抽真空時(shí)間可縮短75%

溫度可達(dá)到-120℃至-150℃

產(chǎn)品吞吐量的20%上升到100%

在成本/性能上優(yōu)于液氮制冷

制冷量可達(dá)4000W

環(huán)保型混合冷媒滿足所有適用地區(qū)的環(huán)境要求（京都國(guó)際協(xié)議）。

自動(dòng)化控制，支持遠(yuǎn)程通訊

高清觸摸屏，方便操作的面板控制

雙級(jí)制冷回路配置

 

應(yīng)用

替代液氮的經(jīng)濟(jì)性選擇

在光學(xué)鍍膜、卷繞鍍膜等各種功能鍍膜或裝飾鍍膜系統(tǒng)，可以用于真空室內(nèi)抽吸水汽，以獲得更好的薄膜質(zhì)量

用于冷阱等冷卻裝置防止擴(kuò)散泵返

化學(xué)工程，液化工藝氣體

系統(tǒng)

除了COOL設(shè)備單元外，還提供以下關(guān)鍵組件，如有需要，可以按照您的規(guī)格制造:

冷阱盤管和擋板

冷阱盤管一般安裝在真空腔室內(nèi)，或高閥與真空室之間，適用于鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合．冷阱盤管同時(shí)具有除霜功能，使冷阱盤管在每次開門之前恢復(fù)到常溫，有利于下次抽真空。

冷阱擋板一般安裝在擴(kuò)散泵上方，主要功能是防止油擴(kuò)散泵的油氣返流，同時(shí)也可以抽除水汽，提高真空度。

饋通件（可單獨(dú)提供或作為冷阱盤管的一部分）

雙通道在保持給入管和返回管之間的熱隔離的同時(shí)，提供了進(jìn)入真空腔的法蘭。在外部，管接頭與制冷劑管路可直接連接。在腔室側(cè)，饋通和內(nèi)部冷阱管道焊接在一起。

制冷機(jī)管路

制冷劑管”包括一條給入管和一條返回管，該管帶有不銹鋼管接頭（Parker或VCR），可與COOL System和饋通件配合使用。制冷劑管采用泡沫型保溫層絕熱保護(hù)，防止暴露在戶外空氣中，以減少熱量損失。

水汽壓強(qiáng)表

有效地捕捉水蒸氣的**溫度是多少?

要找到適合您的真空系統(tǒng)的低溫表面溫度，請(qǐng)找到下面列出的系統(tǒng)的基本壓力。然后繼續(xù)到顯示所需低溫表面溫度的右欄。這個(gè)溫度表示90%的水蒸氣捕獲效率。

壓力 Torr	溫度 ℃	壓力 Torr	溫度 ℃
5×100	-25.4	5×10-5	-104.9
2×100	-34.4	2×10-5	-109.1
1×100	-40.8	1×10-5	-112.2
5×10-1	-46.8	5×10-6	-115.1
2×10-1	-54.3	2×10-6	-118.1
1×10-1	-59.7	1×10-6	-121.5
5×10-2	-64.8	5×10-7	-124.1
2×10-2	-71.2	2×10-7	-127.5
1×10-2	-75.8	1×10-7	-129.9
5×10-3	-80.1	5×10-8	-132.2
2×10-3	-85.6	2×10-8	-135.2
1×10-3	-89.6	1×10-8	-137.3
5×10-4	-93.4	5×10-9	-139.5
2×10-4	-98.2	2×10-9	-142.1
1×10-4	-101.6	1×10-9	-144.1

Cool System 抽氣速度和壓力的關(guān)系

冷阱低溫表面平均溫度與外加熱負(fù)荷的函數(shù)關(guān)系

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	COOL2000H	COOL3000H	COOL4000H
制冷量（W）	2700	3500	4400
理論抽速（L/S）	228000	295000	366000
腔體內(nèi)理論**抽速（L/S）	154000	198000	242000
極限真空度（Torr）	2×10-8	2×10-8	2×10-8
預(yù)制冷時(shí)間	＜30Min	＜30Min	＜30Min
冷卻時(shí)間	≤4Min	≤5Min	≤6Min
除霜時(shí)間	≤5Min	≤6Min	≤7Min
冷阱管表面積 ㎡	1	1.6	2.4
冷卻要求	水冷,18-32℃,2-4bar
冷卻水流量要求（L/min）	＞20	＞28	＞35
冷卻水接口	G3/4	G3/4	G3/4
制冷劑	環(huán)?；旌闲屠涿?/span>
控制系統(tǒng)	PLC+觸摸界面
電源要求	380-400V, AC , 3PH, 50/60Hz
功率	10Kw	13Kw	15Kw

 

配套附件

冷阱盤管	冷阱擋板	饋通	制冷劑管
*可定制不同形狀和尺寸	*可定制不同尺寸	*可選Parker和VCR接頭,規(guī)格：1寸或2寸	*標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度2.45米，可定制長(zhǎng)度
冷媒		冷水機(jī)
*根據(jù)設(shè)備型號(hào),兼容Polycold設(shè)備		*根據(jù)設(shè)備配置，同時(shí)兼容其他水冷設(shè)備