ThermoTST GC60氣體制冷機是一種閉環(huán)制冷系統(tǒng),設(shè)計用于將干燥氣體(如氮氣,氬氣或空氣)從環(huán)境溫度冷卻到低溫狀態(tài)。
ThermoTST GC60氣體制冷機使用制冷級聯(lián)技術(shù),以實現(xiàn)低溫和超低溫冷卻氣體冷卻工藝,無需使用液氮和干冰的消耗性冷卻劑,降低了成本、風險;是氣體制冷應(yīng)用非常具有成本效益的系統(tǒng)。ThermoTST GC60是高度可靠的制程氣體制冷系統(tǒng),廣泛用于航空航天,汽車,國防,半導體和其他行業(yè)。
特點
結(jié)構(gòu)緊湊,移動式設(shè)計
觸摸屏操作,人機交互界面
不需要液氮LN2,干冰
出口氣體流量可自行設(shè)定
集成式氣體干燥器,無需外置(壓縮空氣配置選項,小于24SCFM的系統(tǒng))
單級壓縮機,節(jié)能環(huán)保,性能可靠
風冷或水冷機型可選
專有制冷劑,符合環(huán)境氣候協(xié)議
應(yīng)用
電子產(chǎn)品的低溫性能驗證
半導體加工部件冷卻
晶圓卡盤的低溫冷卻
真空腔室的低溫氣體充注
流變學研究
材料的低溫表征實驗
技術(shù)規(guī)格
有效溫度范圍 | ≤ -60℃ |
流量范圍 | 4 ~ 18SCFM(1.9L/s ~ 8.5L/s) |
供氣流量 | 15 至 30 SCFM (7.2 至 14.1 L/s) |
性能 | ≤-60°C,制冷機輸出18SCFM |
預冷時間 | ≤ 20min |
系統(tǒng)操作 | 高清彩色觸摸屏,7”TFT |
系統(tǒng)語言 | 中文/英文 |
進/出氣接口 |
1/2”Rc Female 1/2”Rc Female |
通訊接口 | RS-232,LAN |
制冷劑 | 環(huán)保型冷媒 |
噪音 | ≤65BA |
供氣氣源要求 | |
氣體 | 各種干燥氣體(如:氮氣,氬氣,氧氣等)或潔凈的壓縮空氣 |
氣體含油量 | 油分子:≤ 0.01ppm,過濾至0.1um的油霧污染物 |
進氣溫度 | +5°C至+25°C |
CDA時壓力露點 | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) |
CDA時進氣壓力 | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);標準25SCFM(11.8L/S) |
設(shè)備工作環(huán)境要求 | |
溫度 | +10 ºC 至 + 25 ºC |
相對濕度 | 5% 至 85% |
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